“免写”研讨生论文，拿下专业硕士学位，还在对口企业直接工作——胥沛雯和周正做到了。
“咱们的讲堂在无尘车间，课题便是企业的研制难题。”6月中旬，这两位上海海洋大学首届集成电路专项班研讨生脱下无尘衣、穿上学位服，刚在临港校园参加完校园结业典礼，又前往住企培育单位——上海邦芯半导体。
不久前，他们带着两年半扎根企业一线霸占国产芯片制作“卡脖子”工艺的实战效果，在一场设在企业内部的硕士学位论文辩论会上，赢得高校教授和国家级职业专家的全票经过，成为上海海洋大学第一批以实践效果请求并获授硕士学位的专业硕士。
根据《中华人民共和国学位法》，推动研讨生教育点评变革，将学位论文辩论“搬”进公司制作现场。这一新模式打破“唯论文”的传统点评系统，构成“以实践效果为中心、以工业奉献为导向”的工程人才点评新规范。
“一代设备，一代工艺，一代芯片”，高端制作配备的自主可控成为我国完成科技自立自强的中心要害。上海海洋大学与邦芯就环绕国产要害机台底层技能需求，校企协作开出集成电路专项班，“把企业实在痛点作为结业课题，把实战设备工艺打破作为结业答卷”，探究可仿制、可推行的产教交融工程硕博士培育计划。
作为“吃螃蟹的人”，首届专项班仅两位同学。他们2024年3月参加联合培育项目，一头扎进邦芯的无尘车间，将课题直指限制国产设备包围的前沿技能盲区，淬炼处理杂乱工程问题的真身手。
胥沛雯啃的是“深硅刻蚀”这根硬骨头。这是三维的要害工艺，稍有不小心就会呈现侧壁缺点、加工功率上不去。
在许竞翔教授和王士京博士指导下，他依托邦芯自研的“Topaz”深硅刻蚀机，泡在车间里重复调试参数，手指在设备面板上飘动了成百上千次，终究自主开宣布原位滑润工艺，还提出了等效开口率负载模仿法。两年半下来，他硬是“攒”出了6项发明专利，为三维破题，交出了一份让企业专家都翘起大拇指的实战答卷。
周正则“钻”进了钨金属填充的国际。在褚振华教授和涂乐义博士指导下，他另辟蹊径，从设备底层操控架构“动手术”，引进可编程逻辑操控器和可控硅调压器，把传统设备“反响慢”“温度飘”的缺点逐个治服。
他开发的低阻微孔填充工艺，在低电阻、高填充率和量产功率之间找到了那个“黄金平衡点”，还拿下了2项授权发明专利，为先进制程互连攻关建功。
为全方位评价专项班学生的培育质量，这次辩论委员会由张江实验室、上海邦芯半导体及外部职业资深专家共5人组成，严厉依照专业工程硕士培育规范做评定。
辩论过程中，两位同学不只系统阐述了工艺计划设计、产线机台验证、研讨定论打破的完好工程实践链条，更针对辩论委员会提出的中心工艺工业化远景、设备实践运作情况、工程落地价值等实战问题，给出了条理清晰、专业厚实的回答。
经闭门评议并无记名投票，辩论委员会共同以为，两名同学的学位论文达到了硕士研讨生水平，其展现出的处理杂乱工程问题的才能和工业实践素质，得到了专家们的高度点评。
解放日报·上观新闻记者了解到，现在集成电路专项班共有两个年级36名学子在读，上海海洋大学将持续携手邦芯半导体等职业头部企业，秉持“产教融通、协同育人”理念，让更多学生在无尘车间的出产线上生长，为我国集成电路工业培育更多杰出工程师人才。